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大國(guó)芯

第80章 浸入式光刻機(jī)

大國(guó)芯 我是小卒 2112 2019-07-16 16:23:03

  就在華芯集團(tuán)上下圍繞著張樹(shù)林這一典型進(jìn)行著各種宣傳活動(dòng),推動(dòng)集團(tuán)業(yè)務(wù)的拓展,各種計(jì)劃的施行之時(shí),孫毅也得到了來(lái)自李東來(lái)的答復(fù),組織上已經(jīng)同意了他的要求。

  于是他立即用上華半導(dǎo)體的名義,拿出五億人民幣購(gòu)入了華晶51%的股權(quán),實(shí)現(xiàn)了對(duì)華晶的掌控。

  拿到華晶控股權(quán)以后,孫毅并沒(méi)有急著新官上任三把火,而是開(kāi)始了對(duì)為華晶提供如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備單位的調(diào)研工作。

  經(jīng)過(guò)了三個(gè)多月的走訪(fǎng)調(diào)研,孫毅對(duì)這些供應(yīng)配套設(shè)備的單位,已經(jīng)有了一個(gè)全面的了解。知道了他們的產(chǎn)品目前在國(guó)際上處于一個(gè)怎樣的水準(zhǔn),自身又有著怎么的技術(shù)研發(fā)實(shí)力。

  “下面我們還有哪幾家需要調(diào)研?”在趕往下一家調(diào)研單位的路上,這些日子忙得有些暈頭轉(zhuǎn)向的孫毅,放下手中的調(diào)研資料,靠在商務(wù)車(chē)的柔軟座椅的靠背上,揉了揉自己的太陽(yáng)穴,問(wèn)身邊的助理小李道。

  還沒(méi)等小李開(kāi)口,他對(duì)面跟隨他一起參與調(diào)研工作的吳銘開(kāi)口替小李回答道:“沒(méi)了,剛剛調(diào)研的那家就是最后一家,明天我們就可以回華晶了?!?p>  聽(tīng)到調(diào)研已經(jīng)結(jié)束,一股淡淡的惆悵,夾著諸多的緊迫涌上他的心頭。

  回想起調(diào)研時(shí)看到的一幕幕,再對(duì)比國(guó)外的同行的產(chǎn)品,他感到國(guó)內(nèi)在半導(dǎo)體制造設(shè)備上,是落后如此之多。

  一想到這些,他就忍不住嘆道:“沒(méi)想到這么快就結(jié)束了,就是結(jié)果有些不容樂(lè)觀?!?p>  吳銘皺著眉頭,接過(guò)話(huà)茬道:“是呀!其他的雖然問(wèn)題也多,但終歸還有趕上去的希望。

  唯有光刻機(jī),雖說(shuō)中科院光電所已經(jīng)研發(fā)出分步光刻機(jī),達(dá)到了國(guó)外80年代中期的水平。

  可由于技術(shù)難度大,研發(fā)資金投入巨大,到目前為止相關(guān)研發(fā)工作進(jìn)展緩慢,與國(guó)外先進(jìn)水平之間的差距是越拉越大?!?p>  說(shuō)起光刻機(jī),孫毅就是一陣無(wú)奈。

  光刻機(jī)這一難題即便在重生之前的2019年,仍就在羈絆著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

  它就像是木桶理論中那最短的一塊短板,哪怕那時(shí)的中國(guó)在刻蝕機(jī)等其它半導(dǎo)體制造設(shè)備上水平非常高,也因?yàn)槿笔Я斯饪虣C(jī)這一環(huán),而導(dǎo)致中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)始終落后兩代,達(dá)不到國(guó)際先進(jìn)水平。

  現(xiàn)在哪怕是他知道了光刻機(jī)的重要性,對(duì)此仍舊感到有些束手無(wú)策。

  光刻機(jī)的研發(fā)投入太大,風(fēng)險(xiǎn)又太高,僅憑華芯現(xiàn)在的實(shí)力,最多只能在后面推上一把,想要推動(dòng)光刻機(jī)的研發(fā),讓它趕上國(guó)際先進(jìn)水平,卻是有些癡人說(shuō)夢(mèng)。

  想到這些他就只能無(wú)奈地?fù)u了搖頭,對(duì)吳銘苦笑道:“這也是沒(méi)有辦法的事,我們的精密加工技術(shù)跟不上,再加上國(guó)家資金短缺,沒(méi)有足夠的資金投入到光刻機(jī)的研發(fā)中,尤其是光刻機(jī)的光源這一塊。

  導(dǎo)致我們一步慢,步步慢,差距是越拉越大?!?p>  95年的中國(guó)雖然也有了自己的分步光刻機(jī),可在光刻機(jī)的光源上用的還是365納米(I線(xiàn))近紫外光源,落后于國(guó)外的248納米(KrF)深紫外光源整整一代。

  這也導(dǎo)致國(guó)內(nèi)的光刻機(jī)在精度上,整整落后國(guó)外好幾個(gè)數(shù)量級(jí)。

  吳銘聽(tīng)到孫毅這么說(shuō),卻是心有不甘。

  如今都已經(jīng)知道問(wèn)題出在哪里,卻因?yàn)殄X(qián)不夠,無(wú)法將問(wèn)題解決,這如何不讓他感到喪氣。

  他皺起眉頭,問(wèn)孫毅道:“難道就沒(méi)有別的辦法嗎?我們也可以自己出錢(qián),支持光刻機(jī)的研發(fā)?!?p>  顯然吳銘并不希望這樣被動(dòng)地等待下去,他更希望能主動(dòng)參與進(jìn)去,提高中國(guó)的光刻機(jī)水平。

  孫毅苦笑連連道:“我的好兄弟,你又不是不知道,華芯現(xiàn)在是小胳膊小腿,這種情況我們真的是無(wú)能為力。

  光刻機(jī)研發(fā)是個(gè)燒錢(qián)大戶(hù),沒(méi)有國(guó)家隊(duì)進(jìn)場(chǎng),一般人還真就吃不住。

  我們現(xiàn)在就是將所有的身家都投進(jìn)去,也填不滿(mǎn)光刻機(jī)研發(fā)這個(gè)無(wú)底洞。”

  吳銘不甘道:“可也不能這樣眼睜睜地看著,總要做點(diǎn)什么?!?p>  孫毅聽(tīng)到吳銘這么一說(shuō),也覺(jué)得坐等下去也不是個(gè)事,哪怕是實(shí)力不夠,怎么說(shuō)也得博上一把。

  若是不博,豈不是徹底沒(méi)了希望。

  這時(shí)他靈光一閃,想到如今的分步光刻機(jī)用的還是干式光刻機(jī)技術(shù),而不是后世EUV問(wèn)世之前流行的浸入式光刻機(jī)技術(shù)。

  而干式光刻機(jī)與浸入式光刻機(jī)工作原理大致相似,兩者不同的是干式光刻機(jī)的透鏡和硅片之間的空隙填充的是空氣,而浸入式光刻機(jī)的透鏡和硅片之間的空氣填充的是液體。

  目前因?yàn)楦墒焦饪虣C(jī)還沒(méi)有到達(dá)它的上限,再加上國(guó)外目前雖然對(duì)浸入式光刻機(jī)技術(shù)有過(guò)研究,但目前使用的浸入液是環(huán)辛烷之類(lèi)的液體。

  導(dǎo)致人們因?yàn)閷?duì)浸入液的充入、鏡頭的沾污、光刻膠的穩(wěn)定性和氣泡的傷害等關(guān)鍵問(wèn)題缺乏了解,國(guó)外的相關(guān)實(shí)驗(yàn)室因此并未對(duì)浸入式光刻展開(kāi)深入的研究。

  他完全可以趁機(jī)從這方面著手,在已有的干式光刻機(jī)的基礎(chǔ)上探索浸入式光刻機(jī)技術(shù),從而實(shí)現(xiàn)彎道超車(chē)。

  于是他立馬有了主意,對(duì)吳銘道:“是要做點(diǎn)什么,你看這樣如何?

  雖然研發(fā)上我們沒(méi)有那么多錢(qián),但我們可以先找一些這方面的人才進(jìn)行預(yù)研。

  等過(guò)幾年我們有了資本,能夠支撐起光刻機(jī)的研發(fā),我們?cè)倩仡^搞光刻機(jī)的研發(fā)工作,到時(shí)候預(yù)研正好能直接為我們節(jié)省下大量的時(shí)間?!?p>  吳銘一聽(tīng)孫毅要預(yù)研,驚喜地問(wèn)他道:“你準(zhǔn)備與中科院光電所合作?”

  孫毅卻是搖了搖頭道:“不,我們自己干。”

  想到浸入式光刻機(jī)的未來(lái)的廣闊前景,他決定先要把相關(guān)專(zhuān)利掌握在自己手中,再?zèng)Q定選擇和誰(shuí)合作。

  哪怕到時(shí)候國(guó)內(nèi)光刻機(jī)技術(shù)還是無(wú)法趕上,他也能憑借掌握的浸入式光刻機(jī)專(zhuān)利,在國(guó)際上縱橫捭闔,得到他想要的光刻機(jī)設(shè)備。

  吳銘不知道孫毅的私心,卻在擔(dān)憂(yōu)其它方面。

  他皺著眉頭,憂(yōu)心忡忡地問(wèn)孫毅道:“你總不能到45所,中科院光電所去挖人吧!

  咱們可不能因?yàn)橥谌?,把這兩家給得罪了,日后我們?cè)诠饪虣C(jī)上還要指望他們幫忙的?!?

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